[SEMICON 日本 2022] 真空平面加熱裝置 - 姬路理化株式會社

這次，我想介紹一下這個真空加熱裝置。
在這裡，15個鹵素加熱器可以一個個獨立控制，這個通過抽真空實現均勻加熱。

據說這裡已經申請了專利，不過其中一個特點就是引線在腔體外面。

所以當你用這個的時候，特點是你可以均勻地加熱東西。